超純氣體處理

半導(dǎo)體工業(yè)用的超純氣體有氫、氧、氮、氬、氦、氨、二氧化銨、四氧化碳各類氣體氫化物及二元或三元以上的混合氣等，它們大部分 是從空氣、天然氣、石油化工和合成氨廠的殘余氣體中提取后進(jìn)一步精制得到，根據(jù)原料氣來(lái)源情況、雜質(zhì)組份含量、純度要求來(lái)選擇相應(yīng)的制備方法。集成電路發(fā) 展到兆位級(jí)后，對(duì)超凈提出了更嚴(yán)格要求，在超純氣體或電子氣體供氣系統(tǒng)中，為了脫除由于振動(dòng)或氣流沖擊所造成的脫落粒子，在使用氣前須安裝過(guò)濾器。

（POU）過(guò)濾器是使用ISO 9001認(rèn)證質(zhì)量體系在Class 100潔凈室中制造的。過(guò)濾器是精密焊接在一個(gè)特別設(shè)計(jì)的手套箱與大氣凈化。去離子水沖洗，然后是高壓，0.003μm過(guò)濾氮沖洗去除顆粒，并防止顆粒脫落。

我們的POU過(guò)濾器根據(jù)需要真空干燥至小于10ppb的水分，有機(jī)物小于10ppb THC。POU過(guò)濾器采用無(wú)顆粒，化學(xué)清潔，無(wú)有機(jī)物處理和裝袋的方式，可大限度地提高安裝在要求較嚴(yán)格的微電子應(yīng)用中的包裝外清潔度。超過(guò)半導(dǎo)體加工的高純度氣體處理過(guò)濾要求。                   

我們高質(zhì)量產(chǎn)品經(jīng)過(guò)廣泛的測(cè)試，以確保其滿足半導(dǎo)體制造中氣體輸送系統(tǒng)的關(guān)鍵過(guò)濾效率，準(zhǔn)確的流量控制和安全要求。